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直線電機控制技術在檢測系統是什么應用的

2020-09-24 17:16:44 徽碩實業(yè) 75

 直線電機技術已廣泛應用于半導體行業(yè)所需要的最先進的運動系統中。如果精度水平需要達到亞微米水平,位置穩(wěn)定性需要納米水平,必須采用最先進的技術。對于這樣的要求,任何部件的缺陷都會影響整機的性能。正因為如此,它為用戶提供了一個完整的運動系統平臺,擁有最高質量的部件和最好的機械結構設計技術。在晶圓測試工具中,要求極高的精度和生產率。


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  為了滿足高標準的應用要求,LSM直線電機及其獨特的功能滿足了這個高科技行業(yè)的要求。最終,這些重要的部件組成了一個機械系統,實現了最高的性能。


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  大多數微電子器件都要求進行無損檢測(NDT)。該測試用于確保產品的功能和可靠性。由于在線檢測,速度必須快,精度必須高,以確保生產線的生產能力不受質量控制程序的影響。


  根據被測產品的類型,從無源器件到復雜的IC,都需要不同的檢測技術,如光學檢測、x射線檢測或超聲波檢測。由直線電機技術組成的完整運動系統,為用戶帶來高精度和最大生產率。


  在測試設備中,為了達到最大的性能,通常兩個重要的系統必須保持同步,移動平臺和測試系統本身。由于HANS能夠提供一個完整的運動平臺系統和運動控制單元,保證了檢測設備的關鍵運動技術要求。這使得設備制造商能夠專注于他們在檢測系統、缺陷識別軟件等方面的核心競爭力,同時要求晶圓運動系統的精度、重復性和生產力。


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